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钛硅靶 钛硅合金靶 真空溅射钛硅靶 钛硅合金靶

时间:2020-04-08来源:未知 作者:admin 点击:

 

钛硅靶

产品详情

(1)产品特点:产品具有纯度高的特点。

(2)产品应用:各种靶材

(3)常用规格粒度:如下图或根据客户需求生产。

(4)化学成份以及物理指标(如下图)

(5)产品执行标准:

 

产品名称

成份(at%)

纯度

晶粒尺寸

密度

制造方法

平面靶

TiSi

85/15  80/20  75/25

99.8% 

<120µm

99.8%

HIp

旋转靶

TiSi

85/15  80/20  75/25

 99.8%

<120µm

99.8%

HIP

规格/尺寸

Φ160*12  Φ128*15  Φ105*16  Φ100*32  Φ64*32  741*191*18  1040*191*18  1701*132*12   矩形靶材最长可达1800mm,圆形靶材直径可达350mm

(责任编辑:xrypowder)
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